Il s’agit d’un communiqué de presse payant. Contactez directement le distributeur du communiqué pour toute demande.

Premier système de contrôle de stochastiques en ligne intégré dans un flux d’automatisation complet de fabrication

Business Wire

Mar, 24 février 2026 à 00:30 GMT+9 4 min de lecture

FAME 300 de Fractilia adopté en production par un des 5 premiers fabricants de semi-conducteurs

AUSTIN, Texas, 23 février 2026–(BUSINESS WIRE)–Fractilia, leader dans la métrologie et le contrôle de stochastiques de haute précision, a annoncé aujourd’hui que son système FAME 300™ a été adopté pour une utilisation en production par un des cinq principaux fabricants de dispositifs semi-conducteurs, marquant la première fois qu’une solution de contrôle de stochastiques en ligne est entièrement intégrée dans un environnement de fabrication moderne.

Fractilia a confirmé que le FAME 300 a été déployé comme un système de métrologie en ligne entièrement automatisé et intégré au système hôte dans une ligne de fabrication de nœud avancé. Le client utilise désormais le Stochastics Line Monitor™ de Fractilia sur plus de 200 étapes de métrologie pour générer des graphiques de contrôle statistique (SPC) automatisés, piloter la disposition en temps réel des lots et publier les résultats à des centaines d’ingénieurs dans plusieurs groupes fonctionnels, le tout sans intervention humaine.

Contrairement aux mesures de stochastiques hors ligne traditionnelles, qui fournissent un diagnostic différé, le contrôle de stochastiques en ligne permet des décisions de production automatisées en temps réel qui impactent directement le rendement dans la fabrication de nœuds avancés.

Cette étape de production démontre que la stochastique, longtemps considérée principalement comme un problème de R&D, est désormais une question centrale en production à nœuds avancés. Cela s’explique par ce que Fractilia qualifie de « gap stochastique ». Il s’agit du décalage croissant entre ce qui peut être patterné en développement et ce qui peut être fabriqué à grande échelle avec un rendement acceptable.

En intégrant les mesures basées sur le FILM™ de Fractilia dans les systèmes d’automatisation standard de l’usine, le client a validé la nécessité de mesures de stochastiques en temps réel telles que la rugosité de ligne (LWR), la rugosité de bord de ligne (LER) et l’uniformité locale des dimensions critiques (LCDU) pour le contrôle de processus à nœuds avancés.

« Cette mise en œuvre représente une avancée majeure pour l’industrie des semi-conducteurs », a déclaré Chris Mack, CTO de Fractilia. « Pour la première fois, les fabs peuvent utiliser des mesures stochastiques précises pour prendre des décisions de production automatisées en temps réel. La capacité de notre client à intégrer FAME 300 directement dans leur système hôte démontre que le contrôle de stochastiques en ligne n’est pas seulement possible ; c’est désormais un élément pratique et essentiel de la fabrication à nœuds avancés. »

Stochastiques : désormais la principale source d’erreur de motif

Alors que la taille des caractéristiques diminue et que la lithographie EUV et EUV à haute NA introduisent une variabilité photonique et moléculaire beaucoup plus importante, la variabilité stochastique représente désormais plus de la moitié du budget d’erreur de motif à nœuds avancés. Historiquement, ces effets étaient faibles par rapport à la taille des caractéristiques ; aujourd’hui, ils sont critiques pour le rendement et mettent en danger des investissements de plusieurs milliards de dollars en fabrication.

Suite de l'article  

Les fabricants ont de plus en plus reconnu que les mesures traditionnelles par CD-SEM et les méthodes de contrôle de processus déterministes sont insuffisantes pour capturer la nature aléatoire inhérente à la fabrication avancée. Le Stochastics Line Monitor™ de Fractilia émerge comme le prochain grand tournant, analogue aux transitions précédentes vers la surveillance de la defectivité et de l’overlay dans les années 1990.

FAME 300 permet cela en combinant la technologie brevetée FILM™ de Fractilia avec une automatisation complète et une connectivité au système MES/hôte, offrant aux fabs :

**Mesures stochastiques précises et non biaisées** utilisant des images provenant de CD-SEM de production et d'autres outils SEM

**Ingestion automatisée dans le MES, SPC et autres systèmes de la fab**

**Disposition en lot en temps réel** pour atténuer les risques de rendement

**Flux de données à haut débit, entièrement sans surveillance** avec la capacité de mesurer toutes les images SEM générées dans une fab entière

Facilité d’intégration et utilité métrologique élargie

L’équipe informatique du client a noté que l’intégration de FAME 300 dans son système hôte a été « bien plus facile que prévu », nécessitant beaucoup moins d’efforts d’ingénierie que pour les projets d’automatisation de fab typiques.

En plus des métriques stochastiques, le client a également commencé à utiliser les mesures Fractilia pour des métriques critiques de CD et de distance pour certaines couches, ce qui démontre la polyvalence du moteur FILM™ au-delà des effets stochastiques. Les mesures de Fractilia sont de plus en plus utilisées pour des métriques dimensionnelles clés, renforçant la valeur du système dans plusieurs modules de processus.

Le besoin de contrôle de stochastiques

Dans l’industrie, plusieurs fabricants de dispositifs ont récemment accru leur utilisation des produits Fractilia tant en R&D qu’en production. De nombreuses organisations collaborent avec Fractilia pour publier des articles sur l’importance de la stochastique à nœuds avancés. Fractilia présentera quatre articles avec trois clients différents lors de la conférence SPIE Advanced Lithography + Patterning du 22 au 26 février 2026 à San Jose, CA.

À propos de Fractilia

Fractilia est le leader mondial en solutions de métrologie et de contrôle de stochastiques pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Sa technologie brevetée FILM™ fournit des mesures très précises et exactes des stochastiques — la principale source d’erreurs de motif à nœuds avancés — aidant les clients à améliorer le rendement, la performance et la productivité. Les solutions de Fractilia incluent MetroLER™ pour le développement de processus et l’analyse d’ingénierie, et la gamme FAME™ pour le ramp-up et la production en fab. Basée à Austin, Texas, Fractilia détient plus de 20 brevets délivrés. Pour plus d’informations, visitez www.fractilia.com.

Consultez la version source sur businesswire.com :

Contacts

**Contact média :
**Michelle Clancy Fuller
Cayenne Global
michelle.clancy@cayennecom.com
+1 503.702.4732

Conditions et Politique de Confidentialité

Tableau de bord de confidentialité

Plus d’infos